Détail de la notice
Titre du Document
Ring oscillators for CMOS process tuning and variability control
Auteur(s)
BHUSHAN Manjul ; GATTIKER Anne ; KETCHEN Mark B. ; ...
Résumé
Test structures utilizing ring oscillators to monitor MOSFET ac characteristics for digital CMOS circuit applications are described. The measurements provide information on the average behavior of sets of a few hundred MOSFETs under high speed switching conditions. The design of the ring oscillators is specifically tailored for process centering and monitoring of variability in circuit performance in the manufacturing line as well as in the product. The delay sensitivity to key MOSFET parameter variations in a variety of ring oscillator designs is studied using a compact model for partially depleted silicon on insulator (PD-SOI) technology, but the analysis is equally valid for conventional bulk Si technology. Examples of hardware data illustrating the use of this methodology are taken primarily from experimental hardware in the 90-nm CMOS technology node in PD-SOI. The design and data analysis techniques described here allow very rapid investigation of the sources of variations in circuit delays.
Editeur
Institute of Electrical and Electronics Engineers
Type du document
Conférence : International Conference on Microelectronic Test Structures (ICMTS), 18, Leuven, BEL, 2005
Identifiant
ISSN : 0894-6507
Source
IEEE transactions on semiconductor manufacturing A. 2006, vol. 19, n° 1, pp. 10-18 [9 pages] [bibl. : 5 ref.]
Langue
Anglais
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