Détail de la notice
Titre du Document
Comportement électrique aux hyperfréquences dans des cavités à mode de galerie
Electric behavior at microwaves in cavity using galery modes
Electric
Auteur(s)
THEOBALD J. G. ; GEVREY F. ; GIRE A. ; ...
Résumé
A new type of microwave resonator, using gallery modes, is developed in order to measure dielectric constants. This method uses one rotating disk inside the cavity, the sample being placed on this rotating disk. Measurements were performed on samples of silicon used for integrated circuits. By this way, we can obtain one sensitivity close to the theoritical sensitivity.
Editeur
Fondation Louis de Broglie
Identifiant
ISSN : 0182-4295 CODEN : AFLBDU
Source
Annales de la Fondation Louis de Broglie A. 2001, vol. 26, NS, pp. 471-481 [bibl. : 11 ref.]
Langue
Français
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